光刻機(jī)是干什么用的?光刻機(jī)與蝕刻機(jī)哪個(gè)貴?

光刻機(jī)是做什么用的,我們手機(jī)中的芯片就是光刻機(jī)刻的嗎?光刻機(jī)一共就那么十幾臺(tái),全球的芯片好幾個(gè)億,真刻的過(guò)來(lái)嗎?光刻機(jī)與蝕刻機(jī)哪個(gè)更貴?

2021-04-09
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匿名用戶

2021-04-09

  光刻機(jī)是芯片制造流程中的核心設(shè)備,由于用途不同,分為生產(chǎn)芯片的光刻機(jī)、用來(lái)封裝的光刻機(jī)和LED領(lǐng)域的投影光刻機(jī)。

  芯片的制造流程很復(fù)雜,可以分為:硅片制備、外延工藝、熱氧化、擴(kuò)散摻雜、離子注入、薄膜制備、光刻、刻蝕和工藝集成等。

  光刻工藝是制造流程中最關(guān)鍵的一步,光刻確定了芯片的關(guān)鍵尺寸,在整個(gè)制造過(guò)程中大約占了整體制造成本的35%。

  蝕刻機(jī)分為兩類(lèi),目前主流的是濕刻,還有一類(lèi)是干刻,濕刻就是特定的化學(xué)溶液和光刻機(jī)制作后的薄膜發(fā)生反應(yīng)后剩下的東西,就是需要的東西,整個(gè)過(guò)程有液體接觸,所以稱(chēng)為濕刻。

  光刻機(jī)要更貴一些,一般來(lái)說(shuō),一架光刻機(jī)是7000萬(wàn)美元,而一架刻蝕機(jī)是700萬(wàn)美元。

  低端光刻機(jī)技術(shù)與刻蝕機(jī)是差不多的,高端光刻機(jī)技術(shù)會(huì)比刻蝕機(jī)要高的多;原理上光刻機(jī)與刻蝕機(jī)難度基本上相等。

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